Sagittarius-SPT系列 - 結(jié)合研究、特性分析與生產(chǎn)的多功能合一矽光子元件自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)
ICCSZ訊 硅光子是一種顛覆性技術(shù),將徹底改變?nèi)鐢?shù)據(jù)中心、高效能計(jì)算與數(shù)據(jù)傳輸?shù)榷囗?xiàng)應(yīng)用領(lǐng)域。硅光子是數(shù)個(gè)技術(shù)模塊的整合,包括激光器、光學(xué)元件、MEMS 、高速數(shù)位與射頻系統(tǒng)單晶片(SOCs)。如此復(fù)雜系統(tǒng)的測(cè)試,需要在精密機(jī)械、光學(xué)特性與射頻測(cè)量等等領(lǐng)域,具備極高的整合專業(yè)知識(shí)。
隨著制造廠、商業(yè)模組工具與光子測(cè)試性能組成的工業(yè)生態(tài)系統(tǒng)出現(xiàn),光學(xué)集成電路科技與應(yīng)用的進(jìn)程正在加速。將光學(xué)測(cè)試由封裝級(jí),更將深入至晶圓級(jí)半導(dǎo)體進(jìn)程,是確保效能與良率的重要步驟。思達(dá)科技所開發(fā)的世界領(lǐng)先的商用自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)Sagittarius-SPT,其先進(jìn)儀器控制與為光學(xué)產(chǎn)業(yè)開發(fā)的測(cè)試方法,適用于此新產(chǎn)業(yè)。晶圓級(jí)測(cè)試的一項(xiàng)測(cè)試關(guān)鍵層面,是快速可重復(fù)性的光耦合,包括探針卡位置優(yōu)化,以及偏振校準(zhǔn)。
Sagittarius-SPT帶來(lái)幾項(xiàng)突破,包括在晶圓切割前,提供測(cè)試晶圓與元件的自動(dòng)測(cè)試平臺(tái);具有傳統(tǒng)DC與射頻電子的晶圓探測(cè)功能,集成至光學(xué)測(cè)試范圍等。思達(dá)已為光通訊元件分析儀(LCA)、光開關(guān)、可調(diào)鐳射光源、光功率計(jì)等提供多種儀器驅(qū)動(dòng)器,可以對(duì)可變光衰減器、光學(xué)調(diào)變器,與鐳射光電二極管等等進(jìn)行測(cè)試。
矽光子元件的自動(dòng)化特性測(cè)試,使具有單個(gè)或多個(gè)輸入、加上單個(gè)或多個(gè)輸出的不同類型元件能夠以納米級(jí)精度自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。為了加速晶圓級(jí)測(cè)試的進(jìn)程,思達(dá)開發(fā)了先進(jìn)的自動(dòng)化光纖校準(zhǔn)系統(tǒng)和高級(jí)探針臺(tái),在矽光子元件測(cè)試時(shí),使用先進(jìn)校準(zhǔn)技術(shù),無(wú)須人工互動(dòng),即可按順序方式移至下一個(gè)元件。
Sagittarius-SPT進(jìn)一步使不同類型的矽光子元件,能以不同的方式測(cè)試光電直流,與動(dòng)態(tài)高頻性能。包含運(yùn)用于自動(dòng)晶圓裝載與卸載的設(shè)備前端模組(EFEM),使得Sagittarius-SPT成為應(yīng)用于矽光子元件和集成電路的領(lǐng)先業(yè)界的量產(chǎn)制造測(cè)試系統(tǒng),以最低的測(cè)試成本,為客戶生產(chǎn)矽光子元件。思達(dá)科技今后也將為不同客戶提供Sagittarius-SPT自動(dòng)矽光子測(cè)試系統(tǒng)解決方案。
圖解: Sagittarius-SPT自動(dòng)順序測(cè)試采用具有PIN結(jié)構(gòu)的矽線波導(dǎo)的可變光衰減器(VOA)
關(guān)于思達(dá)科技
思達(dá)科技(STAr Technologies)成立于2000年,專精于先進(jìn)整合測(cè)試系統(tǒng)與高效能探針卡。所開發(fā)的整合測(cè)試系統(tǒng)已在全球安裝超過一千套,其應(yīng)用范圍廣泛,如SPICE建模、DC-RF元件特性、可靠度品質(zhì)驗(yàn)證與矽光子測(cè)試等等。思達(dá)科技總部位于臺(tái)灣新竹市,在美國(guó)、日本、韓國(guó)、新加坡、中國(guó)與印度設(shè)有分公司。請(qǐng)查詢網(wǎng)站www.STAr-Quest.com。
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