ICC訊 12月2日消息 據(jù)中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道,EUV 光刻機(jī)制造商 ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 帶領(lǐng)高管拜訪三星,雙方尋求技術(shù)與投資合作。三星希望能搶在臺(tái)積電之前,取得 ASML 下一代 EUV 設(shè)備供應(yīng)。
業(yè)內(nèi)人士分析稱,三星積極追趕臺(tái)積電,不過臺(tái)積電在高良率與低功耗方面擁有優(yōu)勢(shì)。7nm 制程方面,臺(tái)積電先推出 FinFet 架構(gòu)的 7nm 技術(shù),再推出使用 EUV 的 N7 + 制程。5nm 方面,三星與臺(tái)積電仍有二成產(chǎn)能的差距。
臺(tái)媒指出,供應(yīng)鏈透露,臺(tái)積電目前已采購(gòu) 35 臺(tái) EUV 設(shè)備,占 ASML 過半產(chǎn)量,2021 年底采購(gòu)總量將超過 50 臺(tái)。相較之下,三星 EUV 設(shè)備采購(gòu)量目前不到 20 臺(tái)。
據(jù)了解,臺(tái)媒 DigiTimes 今年 9 月曾表示,臺(tái)積電加速先進(jìn)制程推進(jìn),累計(jì) EUV 光刻機(jī)至 2021 年底將超過 50 臺(tái)。相較之下,三星電子 2021 年還不到 25 臺(tái),同時(shí) EUV POD(光罩傳送盒)采購(gòu)量遠(yuǎn)低于預(yù)期。